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Article Dans Une Revue Revue de Physique Appliquée Année : 1987

Propriétés des défauts de surface produits par recuit laser continu sur GaAs

G. Marrakchi
  • Fonction : Auteur
E. Rosencher
  • Fonction : Auteur
M. Gavand
  • Fonction : Auteur
G. Guillot
A. Nouailhat
  • Fonction : Auteur

Résumé

Des irradiations par faisceaux laser continu ont été faites sur GaAs dans une gamme de puissances comprises entre 0,5 et 0,8 Pm. Pm étant la puissance de fusion. Les résultats obtenus par DLTS montrent la formation à la surface d'un continuum de pièges notés PL1. Des expériences complémentaires effectuées par ellipsométrie et SIMS permettent de relier les pièges à des défauts dans une faible couche d'oxyde formée durant le traitement. Les expériences de DLTS et DLOS réalisées dans différentes conditions de polarisation s'interprètent par une relaxation de ces défauts sensibles au champ électrique.
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Dates et versions

jpa-00245694 , version 1 (04-02-2008)

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Citer

G. Marrakchi, E. Rosencher, M. Gavand, G. Guillot, A. Nouailhat. Propriétés des défauts de surface produits par recuit laser continu sur GaAs. Revue de Physique Appliquée, 1987, 22 (11), pp.1451-1458. ⟨10.1051/rphysap:0198700220110145100⟩. ⟨jpa-00245694⟩

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