Poster De Conférence Année : 2025

PRELIMINARY STUDY OF A MEMS PHOTOACOUSTIC PRESSURE SENSOR USING PARAMETRIC RESONANCE

Résumé

Photo-Acoustic Sensing (PAS) is an emerging gas sensing technique

• Selectivity, sensitivity, etc.

• Requires a low-noise narrowband (resonator-based) microphone

Conclusion Proposed instrumentation and simulation results

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hal-05089648 , version 1 (29-05-2025)

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Identifiants

  • HAL Id : hal-05089648 , version 1

Citer

Lyraie Rakotondratsimba, Jérôme Juillard, Michaël Bahriz. PRELIMINARY STUDY OF A MEMS PHOTOACOUSTIC PRESSURE SENSOR USING PARAMETRIC RESONANCE. Nonlinear Micro/Nanosystems, May 2025, Marne-la-Vallée, France. ⟨hal-05089648⟩
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