Brevet Année : 2022

Traitement d’un film mince par plasma d’hydrogène et polarisation pour en améliorer la qualité cristalline

Julien Delchevalrie
  • Fonction : Auteur
Jean-Charles Arnault
Samuel Saada
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 884305

Résumé

L’invention concerne un procédé de traitement d’un film mince en un matériau conducteur ou semi-conducteur pour en améliorer la qualité cristalline. Il comprend : - la fourniture d’un substrat comportant, sur l’une de ses faces, un film mince dudit matériau ; et - le traitement sous plasma polarisé de l’ensemble formé par le substrat et le film mince à une température et pendant une durée déterminées, de manière à obtenir une réorganisation cristalline sur une profondeur du film mince, le traitement sous plasma polarisé comprenant une polarisation électrique du film mince et une exposition du film ainsi polarisé à un plasma d’hydrogène, le traitement sous plasma polarisé étant réalisé à une température qui est inférieure aux températures de fusion du film mince et du substrat. Figure pour l’abrégé : aucune .

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-05015203 , version 1 (01-04-2025)

Identifiants

  • HAL Id : hal-05015203 , version 1

Citer

Julien Delchevalrie, Jean-Charles Arnault, Samuel Saada, Romain Bachelet. Traitement d’un film mince par plasma d’hydrogène et polarisation pour en améliorer la qualité cristalline. France, N° de brevet: FR3100924B1. 2022. ⟨hal-05015203⟩
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