Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
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https://hal.science/hal-04871652
Soumis le : mardi 7 janvier 2025-17:04:45
Dernière modification le : mercredi 8 janvier 2025-03:36:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04871652 , version 1
Citer
Christine Robert-Goumet, G. Monier, Abdellatif Bachar, Eric Tomasella, A. Bousquet, et al.. Silicon carbonitride thin films prepared by radiofrequency magnetron sputtering on Si (100) and nitrided Si (100) enhanced by an ECR plasma source. ECSAIA’19, 18th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis, Sep 2019, Dresde (Germany), Germany. ⟨hal-04871652⟩
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