Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
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https://hal.science/hal-04871078
Soumis le : mardi 7 janvier 2025-15:21:00
Dernière modification le : mercredi 8 janvier 2025-18:29:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04871078 , version 1
Citer
Neil Innis, Didier Léonard, Catherine Marichy, Colin Bousige, Catherine Journet. Boron-carbon thin films deposited via plasma enhanced atomic layer deposition (PE-ALD). Trends in NanoTechnology 2023, Aug 2023, Lyon, France. ⟨hal-04871078⟩
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