Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Boron-carbon thin films deposited via plasma enhanced atomic layer deposition (PE-ALD)

Domaines

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04871078 , version 1 (07-01-2025)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04871078 , version 1

Citer

Neil Innis, Didier Léonard, Catherine Marichy, Colin Bousige, Catherine Journet. Boron-carbon thin films deposited via plasma enhanced atomic layer deposition (PE-ALD). Trends in NanoTechnology 2023, Aug 2023, Lyon, France. ⟨hal-04871078⟩
63 Consultations
0 Téléchargements

Partager

  • More