VCSEL Oxidation Monitoring Using Spectrally-Shaped Illumination
Résumé
Precise monitoring is essential in VCSEL fabrication, particularly during lateral oxidation, which directly impacts the device's optical and electrical properties. Our approach uses spectrally-shaped illumination to enhance the detection of oxidized areas, paving the way for advanced features like anomaly detection.
Un contrôle précis est essentiel dans la fabrication des VCSEL, en particulier pendant l'étape d'oxydation latérale, qui a un impact direct sur les propriétés optiques et électriques du dispositif. Notre approche utilise une illumination mise en forme spectralleent pour améliorer la détection des zones oxydées, ouvrant ainsi la voie à des fonctions avancées telles que la détection d'anomalies.
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