Atmospheric-Pressure Spatial Atomic Layer Deposition (AP-SALD) Of Metal Oxides for Gravimetric Gas Sensing Applications
Masoud Akbari
(1)
,
Viet Huong Nguyen
(2)
,
Gaëtan Debontride
(3)
,
Martial Defoort
(4)
,
Skandar Basrour
(4)
,
Kevin Musselman
(5)
,
David Munoz-Rojas
(1)
Masoud Akbari
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Viet Huong Nguyen
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Martial Defoort
- Fonction : Auteur
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Skandar Basrour
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Kevin Musselman
- Fonction : Auteur
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David Munoz-Rojas
- Fonction : Auteur
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