Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Atmospheric-Pressure Spatial Atomic Layer Deposition (AP-SALD) Of Metal Oxides for Gravimetric Gas Sensing Applications

Domaines

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04762229 , version 1 (31-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04762229 , version 1

Citer

Masoud Akbari, Viet Huong Nguyen, Gaëtan Debontride, Martial Defoort, Skandar Basrour, et al.. Atmospheric-Pressure Spatial Atomic Layer Deposition (AP-SALD) Of Metal Oxides for Gravimetric Gas Sensing Applications. 2021 MRS Fall Meeting, Nov 2021, Boston, United States. ⟨hal-04762229⟩
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