Highly sensitive capacitive MEMS for photoacoustic gas sensing - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Highly sensitive capacitive MEMS for photoacoustic gas sensing

MEMS capacitifs à haute sensibilité pour la détection photoacoustique des gaz

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Fanny Pagès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04751728

Soumis le : jeudi 24 octobre 2024-12:26:39

Dernière modification le : jeudi 7 novembre 2024-16:14:04

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Dates et versions

hal-04751728 , version 1 (24-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04751728 , version 1

Citer

Tarek Seoudi, Julien Charensol, Fanny Pagès, Diba Ayache, Eric Rosenkrantz, et al.. Highly sensitive capacitive MEMS for photoacoustic gas sensing. Micro and Nano Engineering Conference, LAAS - Toulouse; IES - Montpellier, Sep 2024, Montpellier, France. ⟨hal-04751728⟩

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