Fabrication of silicon based suspended thermometry devices for study of low temperature phononic effects - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Fabrication of silicon based suspended thermometry devices for study of low temperature phononic effects

Jon Canosa Diaz
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Microélectronique Silicium - IEMN
Hafsa Ikzibane
Microélectronique Silicium - IEMN
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Boris Brisuda
  • Fonction : Collaborateur
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
Carlos Polanco Garcia
  • Fonction : Collaborateur
Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux
Marc Dewitte
  • Fonction : Collaborateur
  • PersonId : 753849
  • IdHAL : marc-dewitte
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Natalio Mingo
  • Fonction : Collaborateur
  • PersonId : 874433
Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux
Olivier Bourgeois
Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
Emmanuel Dubois
Microélectronique Silicium - IEMN
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
J.F. Robillard
Microélectronique Silicium - IEMN
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

Domaines

Physique [physics] Matière Condensée [cond-mat] Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Jon Canosa Diaz  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04706340

Soumis le : lundi 23 septembre 2024-15:57:18

Dernière modification le : mercredi 25 septembre 2024-10:45:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04706340 , version 1 (23-09-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04706340 , version 1

Citer

Jon Canosa Diaz, Hafsa Ikzibane, Boris Brisuda, Carlos Polanco Garcia, Marc Dewitte, et al.. Fabrication of silicon based suspended thermometry devices for study of low temperature phononic effects. MNE 2024 - 50th International Micro and Nano Engineering conference, Sep 2024, Montpellier, France. ⟨hal-04706340⟩

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