Improving Piezoelectric Properties of ZnO Thin Films Deposited via AP-SALD with Texture Enhancement - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Improving Piezoelectric Properties of ZnO Thin Films Deposited via AP-SALD with Texture Enhancement

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https://hal.science/hal-04660240

Soumis le : mardi 23 juillet 2024-16:27:56

Dernière modification le : vendredi 18 octobre 2024-11:10:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04660240 , version 1 (23-07-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04660240 , version 1

Citer

Hayri Okcu, Gustavo Ardila, Herve Roussel, Xavier Mescot, Carmen Jiménez, et al.. Improving Piezoelectric Properties of ZnO Thin Films Deposited via AP-SALD with Texture Enhancement. Workshop RAFALD, Nov 2023, Lille, France. ⟨hal-04660240⟩

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