Proceedings/Recueil Des Communications
Année : 2024
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04659117
Soumis le : lundi 22 juillet 2024-17:06:38
Dernière modification le : mardi 30 juillet 2024-20:17:16
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04659117 , version 1
- DOI : 10.1109/PowerMEMS59329.2023.10417472
Citer
Mostafa Keshavarzi, Rajesh Pandiyan, André Dompierre, Simon Loquai, Gabriel Droulers, et al.. Characterizing the Electrical Properties of (002)-Orientated Aluminum-Nitride Films Synthesized Directly on Single Crystal (100) Si by Reactive Sputtering. 2023 IEEE 22nd International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS), IEEE, pp.155-158, 2024, ⟨10.1109/PowerMEMS59329.2023.10417472⟩. ⟨hal-04659117⟩
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