Optimization of etching parameters of chalcogenide layers for photonic integrated circuits for Near and Mid-Infrared applications
Abdelali Hammouti
(1)
,
Sofiane Meziani
(1)
,
Loïc Bodiou
(1)
,
Nathalie Lorrain
(1)
,
Parastesh Pirasteh
(1)
,
Jonathan Lemaitre
(1)
,
Youssef Ghandaoui
(1)
,
Lucas Deniel
(1)
,
Albane Benardais
(2)
,
Radwan Chahal
(2)
,
Virginie Nazabal
(2)
,
Joël Charrier
(1)
Abdelali Hammouti
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1299694
- IdHAL : hammouti-abdelali
- ORCID : 0009-0009-1681-378X
Loïc Bodiou
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3338
- IdHAL : loic-bodiou
- ORCID : 0000-0002-9367-0112
- IdRef : 120539934
Nathalie Lorrain
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3409
- IdHAL : nathalie-lorrain
- IdRef : 165577266
Parastesh Pirasteh
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6469
- IdHAL : parastesh-pirasteh
- IdRef : 253131758
Jonathan Lemaitre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3467
- IdHAL : jonathan-lemaitre
- ORCID : 0000-0003-4007-404X
Youssef Ghandaoui
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1403075
Lucas Deniel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 796836
- ORCID : 0000-0002-9768-1759
Virginie Nazabal
- Fonction : Auteur
- PersonId : 177367
- IdHAL : virginie-nazabal
- ORCID : 0000-0002-0113-3935
- IdRef : 119128063
Joël Charrier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3733
- IdHAL : joel-charrier
- ORCID : 0000-0001-6833-9236
- IdRef : 22349898X