CMOS-compatible Hf0.5Zr0.5O2-based ferroelectric memory crosspoints fabricated with damascene process
Dorian Coffineau
(1, 2)
,
Nicolas Gariépy
,
Benoît Manchon
(3, 1, 2)
,
Raphaël Dawant
(2, 1)
,
Abdelatif Jaouad
(2, 1)
,
Etienne Grondin
(1)
,
Serge Ecoffey
(1, 2)
,
F. Alibart
(1, 2)
,
Yann Beilliard
(1, 2)
,
Andreas Ruediger
(4)
,
Dominique Drouin
(1, 2)
Nicolas Gariépy
- Fonction : Auteur
Benoît Manchon
- Fonction : Auteur
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Raphaël Dawant
- Fonction : Auteur
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Abdelatif Jaouad
- Fonction : Auteur
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Serge Ecoffey
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : serge-ecoffey
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F. Alibart
- Fonction : Auteur
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Yann Beilliard
- Fonction : Auteur
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Andreas Ruediger
- Fonction : Auteur
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Dominique Drouin
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : dominique-drouin
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