Infrastructure de recherche : retours d'expérience sur les actions de performance énergétique du centre de nanosciences et de nanotechnologies (C2N)
Résumé
How tocontrol the energy consumption of a clean room dedicated to micro-nanotechnologies, while maintaining the environmental parameters required for micro-nanofabrication processes or materials development? This is the challenge facing C2N, hosting a micro-nanotechnology facility for academic research, which is by nature energy-consuming. We present our feedback on the actions we've taken, and discuss the prospects for reducing the energy consumption in our experimental labs, and cleanroom
Comment maîtriser la consommation énergétique d’une salle propre dédiée aux technologies microélectroniques tout en maintenant les paramètres environnementaux requis pour les procédés de micro-nanofabrication ou l’élaboration des matériaux ? C’est l’enjeu posé au C2N, hébergeant une centrale de micro-nanotechnologie pour la recherche académique, par essence énergivore. Nous présentons le retour d’expérience sur des actions mises en place et discutons des perspectives pour réduire la consommation énergétique de nos salles d’expérience et de notre salle propre.
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| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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