Technology development for nano-pillars fabrication in silicon carbide to enhance light collection from color centers - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2024

Technology development for nano-pillars fabrication in silicon carbide to enhance light collection from color centers

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Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique / photonique
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https://hal.science/hal-04618701

Soumis le : jeudi 20 juin 2024-13:45:34

Dernière modification le : mercredi 20 novembre 2024-15:48:04

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Dates et versions

hal-04618701 , version 1 (20-06-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04618701 , version 1

Citer

Enora Vuillermet, Serguei Kochtcheev, Elise Usureau, Nicolas Bercu, Mihai Lazar. Technology development for nano-pillars fabrication in silicon carbide to enhance light collection from color centers. Journées Renatech Litho/Gravure 2024, Jun 2024, Valbonne, France. ⟨hal-04618701⟩

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