SAW resonator based MEMS gas sensor for the detection of volatile organic compounds.
Mohand Salah Moussa
(1)
,
Cécile Ghouila-Houri
(2, 1, 3)
,
Vincent Maurice
(4, 1)
,
Ghizlane Boussatour
(5, 4)
,
Othmane Marbouh
(1, 6, 4)
,
Hatem Dahmani
(4)
,
Aurelien Mazzamurro
(7, 8)
,
Phillipe Pernod
(1)
,
Abdelkrim Talbi
(9, 1, 4)
1
AIMAN-FILMS - IEMN -
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN
2 Centrale Lille
3 G2Elab-MADEA - G2Elab-MADEA-Matériaux, Machines et Dispositifs Electromagnétiques Avancés
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 MITEC - IEMN - Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN
6 OMN - L2EP - Équipe Outils et Méthodes Numériques
7 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
8 AIMAN-FILMS - IEMN - Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN
9 LIA LICS/LEMAC - Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique
2 Centrale Lille
3 G2Elab-MADEA - G2Elab-MADEA-Matériaux, Machines et Dispositifs Electromagnétiques Avancés
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 MITEC - IEMN - Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN
6 OMN - L2EP - Équipe Outils et Méthodes Numériques
7 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
8 AIMAN-FILMS - IEMN - Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN
9 LIA LICS/LEMAC - Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique
Othmane Marbouh
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1320197
- IdHAL : 0000-0002-9981-1481
- ORCID : 0000-0002-9981-1481
Hatem Dahmani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1286444
- IdHAL : hatem-dahmani
Abdelkrim Talbi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748484
- IdHAL : abdelkrim-talbi
- ORCID : 0000-0002-7200-3636
- IdRef : 076947637