Organized AlN Nanowire Arrays by Hybrid Approach of Top-Down Processing and MOVPE Overgrowth for Deep UV Emission Devices
Lucie Valera
(1)
,
Lucas Jaloustre
(2, 3)
,
Valérie Reita
(4)
,
Saron R.S. de Mello
(2)
,
Edith Bellet-Amalric
(1)
,
Camille Petit-Étienne
(3, 2)
,
Erwine Pargon
(3, 2)
,
Gwenolé Jacopin
(5)
,
Christophe Durand
(1)
1
NPSC -
Nanophysique et Semiconducteurs
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 NEEL - POM - Optique & Microscopies
5 NEEL - SC2G - Semi-conducteurs à large bande interdite
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 NEEL - POM - Optique & Microscopies
5 NEEL - SC2G - Semi-conducteurs à large bande interdite
Lucie Valera
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1244504
- ORCID : 0000-0002-3742-3563
Erwine Pargon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180469
- IdHAL : erwine-pargon
- ORCID : 0000-0002-6337-9180
Gwenolé Jacopin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21410
- IdHAL : gwenole-jacopin
- ORCID : 0000-0003-0049-7195
- IdRef : 164956204
Christophe Durand
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173778
- IdHAL : christophe-durand2
- ORCID : 0000-0002-5012-8411
- IdRef : 083737936