Etablissement de recherche - Actions de performance énergétique et retours d’expérience du Centre de nanosciences et de nanotechnologies
Résumé
Comment maîtriser la consommation énergétique d’une salle propre dédiée aux technologies microélectroniques tout en maintenant les paramètres environnementaux requis pour les procédés de micronanofabrication ou l’élaboration des matériaux ? C’est l’enjeu qui s’est posé, au tournant des années 2020, au C2N installé au coeur du campus Paris-Saclay. Retour sur les actions mises en place et les perspectives pour réduire la consommation énergétique de la plus grande salle propre de recherche académique de France.
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