Investigation of the formation of nickel silicides on vertical silicon nanostructured channel for advanced electronics - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Investigation of the formation of nickel silicides on vertical silicon nanostructured channel for advanced electronics

Jonas Müller
Rémi Demoulin
Groupe de physique des matériaux
Fuccio Cristiano
Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique
CV
Guilhem Larrieu

Domaines

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Jonas Müller  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04423814

Soumis le : lundi 29 janvier 2024-12:22:11

Dernière modification le : lundi 24 juin 2024-17:15:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04423814 , version 1 (29-01-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04423814 , version 1

Citer

Jonas Müller, Rémi Demoulin, Fuccio Cristiano, Guilhem Larrieu. Investigation of the formation of nickel silicides on vertical silicon nanostructured channel for advanced electronics. E-MRS 2023 SPRING MEETING, May 2023, Strasbourg, France. ⟨hal-04423814⟩

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