XPS in-depth characterization of annealed ultra-thin InxAl1-xN layers on GaN for HEMT applications
Yoan Bourlier
(1)
,
Muriel Bouttemy
(1)
,
Mathieu Frégnaux
(1)
,
Olivier Patard
(2)
,
Piero Gamarra
(3)
,
Stéphane Piotrowicz
(3)
,
Jackie Vigneron
(1)
,
Raphaël. Aubry
(4)
,
Sylvain Delage
(4)
,
Arnaud Etcheberry
(1)
Mathieu Frégnaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 737899
- IdHAL : mathieu-fregnaux
- ORCID : 0000-0002-3915-3982
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Arnaud Etcheberry
- Fonction : Auteur
- PersonId : 756688
- ORCID : 0000-0003-3515-9866
- IdRef : 061555029