IMPROVING THE MANUFACTURING PROCESS OF MULTI-LEVEL MICROFLUIDIC DEVICES BASED ON THE LAMINATION OF SUCCESSIVE DRY FILM PHOTORESIST LAYERS

Microfabrication microfluidics Knudsen pump dry film lamination photolithography Microfabrication microfluidics Knudsen pump dry film lamination photolithography

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Sciences de l'ingénieur [physics]

Fichier principal

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Lucien BALDAS : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04345864

Soumis le : jeudi 14 décembre 2023-19:42:14

Dernière modification le : vendredi 15 novembre 2024-14:08:02

Dates et versions

hal-04345864 , version 1 (14-12-2023)

Licence

Paternité - Pas d'utilisation commerciale

Identifiants

HAL Id : hal-04345864 , version 1

Citer

Guillermo López Quesada, Stéphane Colin, Dimitris Valougeorgis, Lucien Baldas, Christine Barrot, et al.. IMPROVING THE MANUFACTURING PROCESS OF MULTI-LEVEL MICROFLUIDIC DEVICES BASED ON THE LAMINATION OF SUCCESSIVE DRY FILM PHOTORESIST LAYERS. International Symposium on Thermal Effects in Gas flows In Microscale - ISTEGIM 2019, Oct 2019, Ettlingen, France. ⟨hal-04345864⟩

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