Etude multi-échelle de la permittivité diélectrique de couches minces diélectriques : application aux nanocomposites silice / nanoparticules d'argent élaborés par plasma - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Etude multi-échelle de la permittivité diélectrique de couches minces diélectriques : application aux nanocomposites silice / nanoparticules d'argent élaborés par plasma

Résumé

Les couches minces diélectriques nanocomposites apparaissent prometteuses pour améliorer les performances et la fiabilité des micro-et nano-systèmes. En effet, la nature des nanoparticules (métalliques, semiconductrices ou diélectriques), leur concentration ainsi que les paramètres d'élaboration permettent d'obtenir des propriétés diélectriques accordables. En particulier les nanoparticules d'argent (AgNPs) sont d'un grand intérêt pour leur multifonctionnalité allant des applications biocides aux mémoires et au stockage de l'énergie [1-2]. Pour optimiser les performances, il est nécessaire de caractériser les propriétés électriques, et leur évolution sous contrainte électrique, aussi bien à l'échelle macrométrique que nanométrique. Concernant l'échelle nanométrique les techniques dérivées de la microscopie à force atomique (AFM) sont particulièrement adaptées. Elles permettent par exemple de caractériser les courants de fuite dans les oxydes de grilles (Conductive AFM, C-AFM), l'état de charge aux interfaces oxyde/semiconducteur dans les composants MOS (Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM) ou bien la permittivité diélectrique dans les micro/nanocomposites (Electrostatic Force Microscopy, EFM) [2-4].
Fichier principal
Vignette du fichier
Resume_Remisol_Permittivite-VF.pdf (694.15 Ko) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04310859 , version 1 (27-11-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04310859 , version 1

Citer

Christina Villeneuve-Faure, Kremena Makasheva, Charles Rigoudy, Laurent Boudou, G. Teyssedre. Etude multi-échelle de la permittivité diélectrique de couches minces diélectriques : application aux nanocomposites silice / nanoparticules d'argent élaborés par plasma. 24e Forum des Microscopies à Sonde Locale, Apr 2023, Obernay, France. pp.195. ⟨hal-04310859⟩
6 Consultations
5 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More