Etude multi-échelle de la permittivité diélectrique de couches minces diélectriques : application aux nanocomposites silice / nanoparticules d'argent élaborés par plasma
Résumé
Les couches minces diélectriques nanocomposites apparaissent prometteuses pour améliorer les performances et la fiabilité des micro-et nano-systèmes. En effet, la nature des nanoparticules (métalliques, semiconductrices ou diélectriques), leur concentration ainsi que les paramètres d'élaboration permettent d'obtenir des propriétés diélectriques accordables. En particulier les nanoparticules d'argent (AgNPs) sont d'un grand intérêt pour leur multifonctionnalité allant des applications biocides aux mémoires et au stockage de l'énergie [1-2]. Pour optimiser les performances, il est nécessaire de caractériser les propriétés électriques, et leur évolution sous contrainte électrique, aussi bien à l'échelle macrométrique que nanométrique. Concernant l'échelle nanométrique les techniques dérivées de la microscopie à force atomique (AFM) sont particulièrement adaptées. Elles permettent par exemple de caractériser les courants de fuite dans les oxydes de grilles (Conductive AFM, C-AFM), l'état de charge aux interfaces oxyde/semiconducteur dans les composants MOS (Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM) ou bien la permittivité diélectrique dans les micro/nanocomposites (Electrostatic Force Microscopy, EFM) [2-4].
Domaines
Physique [physics]
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)