A Self-Aligned Structure based on V-groove for Accurate Silicon Bridge Placement - Archive ouverte HAL
Proceedings/Recueil Des Communications Année : 2022

A Self-Aligned Structure based on V-groove for Accurate Silicon Bridge Placement

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-04298987

Soumis le : mardi 21 novembre 2023-22:55:18

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:10:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04298987 , version 1 (21-11-2023)

Identifiants

Citer

Yang Qiu, Yann Beilliard, Isabel de Sousa, Dominique Drouin. A Self-Aligned Structure based on V-groove for Accurate Silicon Bridge Placement. 2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC), IEEE, pp.668-673, 2022, ⟨10.1109/ECTC51906.2022.00112⟩. ⟨hal-04298987⟩

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