Liquid metal fabrication of ultrathin Ga2O3 and GaN layers for integrated optics - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Liquid metal fabrication of ultrathin Ga2O3 and GaN layers for integrated optics

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https://hal.science/hal-04279428

Soumis le : vendredi 10 novembre 2023-16:08:23

Dernière modification le : vendredi 2 février 2024-14:32:09

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hal-04279428 , version 1 (10-11-2023)

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Citer

Panteha Pedram, Nitu Syed, Amine Slassi, Chung Kim Nguyen, Benjamin Fornacciari, et al.. Liquid metal fabrication of ultrathin Ga2O3 and GaN layers for integrated optics. SPIE Photonics West 2023, Jan 2023, San Francisco, United States. ⟨10.1117/12.2659145⟩. ⟨hal-04279428⟩

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