Fabrication of c-axis LiNbO3 Thin Film for Surface Acoustic Wave Applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2023

Fabrication of c-axis LiNbO3 Thin Film for Surface Acoustic Wave Applications

Rahma Moalla
  • Fonction : Auteur
William Maudez
  • Fonction : Auteur
Estelle Wagner
  • Fonction : Auteur
Giacomo Benvenuti
  • Fonction : Auteur

Résumé

Lithium niobate (LN) is an important dielectric and ferroelectric materials, which are widely used in acoustics, optic, and optoelectrical devices. In this study, LN thin film was deposited by CBVD method. A SAW delay line and a one-port resonator were fabricated by an e-beam lithography process to investigate the acoustic properties.
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Eunice - LN SAW application.pdf (2.06 Mo) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04256597 , version 1 (24-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04256597 , version 1

Citer

Ngoc Kim Thanh Bui, Nikolay Smagin, Zakariae Oumekloul, Rahma Moalla, William Maudez, et al.. Fabrication of c-axis LiNbO3 Thin Film for Surface Acoustic Wave Applications. Workshop for multi-functional materials: from synthesis to applications, Jun 2023, Valenciennes, France. ⟨hal-04256597⟩
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