Focalisation à retournement temporel à canal unique d'ondes acoustiques à ultra-haute fréquence dans des dispositifs MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2023

Single-channel time-reversal focusing of ultra-high-frequency acoustic waves in MEMS devices

Focalisation à retournement temporel à canal unique d'ondes acoustiques à ultra-haute fréquence dans des dispositifs MEMS

Résumé

Dans cette étude, nous avons conçu, fabriqué et caractérisé de manière approfondie une cavité micro-usinée en silicium conçue pour obtenir une imagerie à ultra-haute fréquence (UHF) à micro-résolution dans les domaines de la microfluidique et de la microbiologie, en utilisant des techniques d'inversion temporelle à un seul canal. Notre approche implique l'intégration de réseaux de transducteurs ZnO dans une plaquette de silicium de 400 µm d'épaisseur qui incorpore des microstructures conçues avec précision pour le confinement des champs acoustiques. Les transducteurs présentent des capacités à large bande couvrant la gamme de fréquences de 0,2 à 2 GHz, avec un pic de fréquence central à 0,9 GHz. Cette recherche comprend un examen complet du champ acoustique diffus et l'application de la rétro-focalisation par retournement temporel (RT).

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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04254581 , version 1 (24-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04254581 , version 1

Citer

Hatem Dahmani, Nikolay Smagin, Pierre Campistron, Julien Carlier, Malika Toubal, et al.. Focalisation à retournement temporel à canal unique d'ondes acoustiques à ultra-haute fréquence dans des dispositifs MEMS. Journées Acoustique & Instrumentation, JAI2023 : evolution et applications, Journées Thématiques de la section Electronique du Club EEA, Oct 2023, Cergy - Paris, France. ⟨hal-04254581⟩
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