Single-channel time-reversal focusing of ultra-high-frequency acoustic waves in MEMS devices
Focalisation à retournement temporel à canal unique d'ondes acoustiques à ultra-haute fréquence dans des dispositifs MEMS
Résumé
Dans cette étude, nous avons conçu, fabriqué et caractérisé de manière approfondie une cavité micro-usinée en silicium conçue pour obtenir une imagerie à ultra-haute fréquence (UHF) à micro-résolution dans les domaines de la microfluidique et de la microbiologie, en utilisant des techniques d'inversion temporelle à un seul canal. Notre approche implique l'intégration de réseaux de transducteurs ZnO dans une plaquette de silicium de 400 µm d'épaisseur qui incorpore des microstructures conçues avec précision pour le confinement des champs acoustiques. Les transducteurs présentent des capacités à large bande couvrant la gamme de fréquences de 0,2 à 2 GHz, avec un pic de fréquence central à 0,9 GHz. Cette recherche comprend un examen complet du champ acoustique diffus et l'application de la rétro-focalisation par retournement temporel (RT).
Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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