Nanooxidation of Silicon Surfaces with a Scanning Probe Microscope: Application to the Conception of Nanodevices - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 1997

Nanooxidation of Silicon Surfaces with a Scanning Probe Microscope: Application to the Conception of Nanodevices

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Emmanuel Dubois  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04249224

Soumis le : jeudi 19 octobre 2023-10:32:06

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Dates et versions

hal-04249224 , version 1 (19-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04249224 , version 1

Citer

Didier Stiévenard, Paul-Aymeric Fontaine, Emmanuel Dubois, Bruno Grandidier. Nanooxidation of Silicon Surfaces with a Scanning Probe Microscope: Application to the Conception of Nanodevices. Proceed¬ings of the N2M’97 workshop, 1997, Tokyo, Japan. ⟨hal-04249224⟩

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