Nano-Lithography based on Silicon Oxidation using Scanning Probe Techniques - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 1997

Nano-Lithography based on Silicon Oxidation using Scanning Probe Techniques

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Sciences de l'ingénieur [physics]

Emmanuel Dubois  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04248467

Soumis le : mercredi 18 octobre 2023-16:43:47

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-13:26:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04248467 , version 1 (18-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04248467 , version 1

Citer

Paul-Aymeric Fontaine, Emmanuel Dubois, Didier Stiévenard. Nano-Lithography based on Silicon Oxidation using Scanning Probe Techniques. IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW), Jun 1997, Kyoto, Japan. ⟨hal-04248467⟩

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