Nano-Lithography based on Silicon Oxidation using Scanning Probe Techniques - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1997
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04248467 , version 1 (18-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04248467 , version 1

Citer

Paul-Aymeric Fontaine, Emmanuel Dubois, Didier Stiévenard. Nano-Lithography based on Silicon Oxidation using Scanning Probe Techniques. IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW), Jun 1997, Kyoto, Japan. ⟨hal-04248467⟩
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