Adaptive Mesh Refinement For Multilayer Process Simulation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1990
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04248241 , version 1 (18-10-2023)

Identifiants

Citer

B. Baccus, D. Collard, Emmanuel Dubois. Adaptive Mesh Refinement For Multilayer Process Simulation. NUPAD III: Workshop on Numerical Modeling of Processes and Devices for Integrated Circuits, Jun 1990, Honolulu, United States. pp.87-88, ⟨10.1109/NUPAD.1990.748290⟩. ⟨hal-04248241⟩
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