Internal Structuring of Semiconductors with Ultrafast Lasers: Opening a Route to Three-Dimensional Silicon Photonics - Archive ouverte HAL
Chapitre D'ouvrage Année : 2023

Internal Structuring of Semiconductors with Ultrafast Lasers: Opening a Route to Three-Dimensional Silicon Photonics

Domaines

Physique [physics] Sciences de l'ingénieur [physics]
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Soumis le : vendredi 13 octobre 2023-16:37:52

Dernière modification le : mardi 17 octobre 2023-03:51:31

Archivage à long terme le : dimanche 14 janvier 2024-20:05:43

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Dates et versions

hal-04241517 , version 1 (13-10-2023)

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Citer

David Grojo, Maxime Chambonneau, Shuting Lei, Alexandros Mouskeftaras, Olivier Utéza, et al.. Internal Structuring of Semiconductors with Ultrafast Lasers: Opening a Route to Three-Dimensional Silicon Photonics. Ultrafast Laser Nanostructuring, 239, Springer International Publishing, pp.979-1018, 2023, Springer Series in Optical Sciences, ⟨10.1007/978-3-031-14752-4_27⟩. ⟨hal-04241517⟩

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