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Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Elaboration and imprint consideration in HfZrO2 ferroelectric capacitors

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04232584 , version 1 (08-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04232584 , version 1

Citer

Jordan Bouaziz, Bertrand Vilquin. Elaboration and imprint consideration in HfZrO2 ferroelectric capacitors. High-k Workshop 2023, NamLab, May 2023, Dresden, Germany, Germany. ⟨hal-04232584⟩
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