Reduction of helium permeation in microfabricated cells using aluminosilicate glass substrates and Al2O3 coatings
Résumé
The stability and accuracy of atomic devices can be degraded by the
evolution of their cell inner atmosphere. Hence,
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https://hal.science/hal-04224507
Soumis le : lundi 2 octobre 2023-10:09:07
Dernière modification le : lundi 21 octobre 2024-13:00:12
Archivage à long terme le : mercredi 3 janvier 2024-18:34:55
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04224507 , version 1
- ARXIV : 2303.13927
- DOI : 10.1063/5.0151899
Citer
Clément Carlé, Shervin Keshavarzi, Andrei Mursa, Petri Karvinen, Ravinder Kumar Chutani, et al.. Reduction of helium permeation in microfabricated cells using aluminosilicate glass substrates and Al2O3 coatings. Journal of Applied Physics, 2023, 133, pp.214501 (7). ⟨10.1063/5.0151899⟩. ⟨hal-04224507⟩
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