Méthode pour minimiser la consommation de précurseurs et la formation de particules dans les réacteurs ALD/CVD - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2019

Méthode pour minimiser la consommation de précurseurs et la formation de particules dans les réacteurs ALD/CVD

Matthieu Weber
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1067688
Institut Européen des membranes
P. Miele
Institut Européen des membranes
Mikhael Bechelany
Institut Européen des membranes

Domaines

Génie des procédés Matériaux

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https://hal.science/hal-04211999

Soumis le : mercredi 20 septembre 2023-10:34:38

Dernière modification le : jeudi 7 novembre 2024-16:14:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04211999 , version 1 (20-09-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04211999 , version 1

Citer

Matthieu Weber, P. Miele, Mikhael Bechelany. Méthode pour minimiser la consommation de précurseurs et la formation de particules dans les réacteurs ALD/CVD. France, N° de brevet: 19/08445. 2019. ⟨hal-04211999⟩

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