Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Advanced optical flux monitoring to control thin layer deposition processes

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04195998 , version 1 (05-09-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04195998 , version 1

Citer

Roman Rousseau, Claude Botella, Jerome Morville, Guillaume Saint-Girons. Advanced optical flux monitoring to control thin layer deposition processes. From Epitaxial Materials towards Technological Transfer: Academic/Industrial meeting, Aug 2023, Palaiseau, France. ⟨hal-04195998⟩
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