Plasma based processes for dielectric engineering of nanostructured layers
Kremena Makasheva
(1)
,
Bernard Despax
(2)
,
Christian Laurent
(3)
,
Christina Villeneuve-Faure
(3)
,
C. Bonafos
(4)
,
Laurent Milliere
(2)
,
Alessandro Pugliara
(2, 5)
,
Laurent Boudou
(3)
,
Gilbert Teyssedre
(3)
Kremena Makasheva
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180338
- IdHAL : kremena-makasheva
- ORCID : 0000-0001-6113-3593
- IdRef : 178653187
Christina Villeneuve-Faure
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750668
- IdHAL : christina-villeneuve-faure
- ORCID : 0000-0002-7959-2912
- IdRef : 193648210
Laurent Boudou
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1117467
- ORCID : 0000-0001-5339-2042
- IdRef : 060262117
Gilbert Teyssedre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180342
- IdHAL : gilbert-teyssedre
- ORCID : 0000-0001-6684-0262
- IdRef : 103169547