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Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Elaboration and imprint consideration in HfZrO2 ferroelectric capacitors

Jordan Bouaziz
Greta Segantini
Benoît Manchon
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1103699
Nicolas Baboux
Matthieu Bugnet
D. Deleruyelle
Bertrand Vilquin
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04136940 , version 1 (21-06-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04136940 , version 1

Citer

Jordan Bouaziz, Greta Segantini, Benoît Manchon, Ingrid Cañero Infante, Nicolas Baboux, et al.. Elaboration and imprint consideration in HfZrO2 ferroelectric capacitors. High k Workshop 2023, NamLab, May 2023, Dresden, Germany. ⟨hal-04136940⟩
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