Micro-nanostructuring by optical lithography and nitridation of photo-patternable TiO2 sol-gel to obtain micro-nanostructured TiN - Archive ouverte HAL
Proceedings/Recueil Des Communications Année : 2023

Micro-nanostructuring by optical lithography and nitridation of photo-patternable TiO2 sol-gel to obtain micro-nanostructured TiN

Victor Vallejo Otero
Université Jean Monnet - Saint-Étienne
Nicolas Crespo-Monteiro
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1084375
Université Jean Monnet - Saint-Étienne
Emilie Gamet
Université Jean Monnet - Saint-Étienne
Stephanie Reynaud
Université Jean Monnet - Saint-Étienne
CV
Christophe Donnet
Université Jean Monnet - Saint-Étienne
Yves Jourlin
Université Jean Monnet - Saint-Étienne

Domaines

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Victor VALLEJO-OTERO  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04094456

Soumis le : jeudi 11 mai 2023-09:32:15

Dernière modification le : jeudi 4 juillet 2024-12:09:01

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04094456 , version 1 (11-05-2023)

Identifiants

Citer

Victor Vallejo Otero, Nicolas Crespo-Monteiro, Emilie Gamet, Stephanie Reynaud, Christophe Donnet, et al.. Micro-nanostructuring by optical lithography and nitridation of photo-patternable TiO2 sol-gel to obtain micro-nanostructured TiN. SPIE, pp.43, 2023, ⟨10.1117/12.2647262⟩. ⟨hal-04094456⟩

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