[Invited] Heat transfer in silicon nano-membranes: application to thermoelectricity
J.F. Robillard
(1, 2)
,
Hafsa Ikzibane
(1, 2)
,
Antonin Massoud
(3, 4)
,
Valeria Lacatena
(1, 2)
,
Maciej Haras
(2, 1)
,
Stanislav Didenko
(2, 1)
,
Stephane Monfray
(5)
,
Jean-Marie Bluet
(6)
,
Pierre-Olivier Chapuis
(4)
,
Emmanuel Dubois
(1, 2)
1
MICROELEC SI - IEMN -
Microélectronique Silicium - IEMN
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
4 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
5 STMicroelectronics
6 INL - MFN - INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
4 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
5 STMicroelectronics
6 INL - MFN - INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures
J.F. Robillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747199
- IdHAL : jean-francois-robillard
- ORCID : 0000-0002-7170-7535
- IdRef : 132947110
Hafsa Ikzibane
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1323339
- IdHAL : hafsa-ikzibane
- ORCID : 0009-0009-4106-9139
Valeria Lacatena
- Fonction : Auteur
- PersonId : 771081
- ORCID : 0000-0003-3009-686X
Maciej Haras
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1103953
Jean-Marie Bluet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171278
- IdHAL : jean-marie-bluet
- ORCID : 0000-0002-1672-6725
- IdRef : 085577448
Pierre-Olivier Chapuis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171286
- IdHAL : pierre-olivier-chapuis
- ORCID : 0000-0002-6264-2530
- IdRef : 191202266
Emmanuel Dubois
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738944
- IdHAL : emmanuel-dubois-iemn
- ORCID : 0000-0002-0347-010X
- IdRef : 134290291