Chapitre D'ouvrage
Année : 2008
Nathalie Pagès : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04048822
Soumis le : mardi 28 mars 2023-14:17:37
Dernière modification le : vendredi 8 décembre 2023-19:00:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04048822 , version 1
Citer
S. Konstantinidis, Freddy Gaboriau, M. Gaillard, M. Hecq, André Ricard. Optical plasma diagnostics during reactive magnetron sputtering. Reactive Sputter Deposition, Springer, 2008. ⟨hal-04048822⟩
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