Optical plasma diagnostics during reactive magnetron sputtering - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2008

Optical plasma diagnostics during reactive magnetron sputtering

S. Konstantinidis
  • Fonction : Auteur
M. Hecq
  • Fonction : Auteur
André Ricard
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1075726
  • IdRef : 050545329
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04048822 , version 1 (28-03-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04048822 , version 1

Citer

S. Konstantinidis, Freddy Gaboriau, M. Gaillard, M. Hecq, André Ricard. Optical plasma diagnostics during reactive magnetron sputtering. Reactive Sputter Deposition, Springer, 2008. ⟨hal-04048822⟩
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