Comparaison du Modèle Fluide de Décharge Radiofréquence dans l'Argon à la Simulation de Monte Carlo
Résumé
A comparison is made between the fluid model and the Monte Carlo simulation of a radiofrequency discharge in argon. The agreement in the properties predicted by the two models is examined for a pressure of 1 torr and a voltage of 300 v. Quantitative agreement has been found in the general discharge behavior predicted by the fluid model and the Monte Carlo simulation at this voltage.
Une comparaison est faite entre le modèle fluide et la simulation de monte Carlo d'une décharge radiofréquence dans l'argon. L'accord dans les propriétés prédites par les deux modèles est examiné pour une pression de 1 torr et une tension de 300 v. Un accord quantitatif a été trouvé dans le comportement général de la décharge prédit par le modèle fluide et la simulation Monte Carlo à cette pression et cette tension.