Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
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https://hal.science/hal-03988742
Soumis le : mardi 14 février 2023-15:19:39
Dernière modification le : lundi 3 novembre 2025-15:54:41
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03988742 , version 1
Citer
Rick Verhoef, Raphael Cozzolino, Patrice Raynaud. Temperature and polarization dependence of growth processes of Zirconium metal-organic layers deposited by MMP-DECR reactor using zirconium tert-butoxide/O2 mixture. PSE 2012 : 13th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, GERMANY, 2012, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-03988742⟩
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