Effect of accelerated hydrothermal aging on the durability of Si-based dielectric thin films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue MICROELECTRONIC ENGINEERING Année : 2022
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Dates et versions

hal-03955747 , version 1 (25-01-2023)

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Citer

S. Rubeck, V. Cartailler, V. Coutellier, G. Imbert, S. Gallois-Garreignot, et al.. Effect of accelerated hydrothermal aging on the durability of Si-based dielectric thin films. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2022, 264, ⟨10.1016/j.mee.2022.111858⟩. ⟨hal-03955747⟩
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