Article Dans Une Revue
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Année : 2022
Laboratoire Mateis : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03955747
Soumis le : mercredi 25 janvier 2023-11:25:33
Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11
Citer
S. Rubeck, V. Cartailler, V. Coutellier, G. Imbert, S. Gallois-Garreignot, et al.. Effect of accelerated hydrothermal aging on the durability of Si-based dielectric thin films. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2022, 264, ⟨10.1016/j.mee.2022.111858⟩. ⟨hal-03955747⟩
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