Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Nathalie Pagès : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03954175
Soumis le : mardi 24 janvier 2023-13:46:05
Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:24
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03954175 , version 1
Citer
N. Kang, S.G. Oh, Freddy Gaboriau, André Ricard. Determination of velocity distribution function of sputtered copper atoms by time resolved optical absorption spectroscopy. International Conference on Microelectronics and Plasma (ICMAP 2008), Aug. 18-20, 2008, jeju (SOUTH KOREA), 2008, jeju, South Korea. ⟨hal-03954175⟩
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