Experimental and numerical characterization of an argon RF inductively coupled plasma for surface treatment. - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Experimental and numerical characterization of an argon RF inductively coupled plasma for surface treatment.

Christian Laurent
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 959909
  • IdRef : 063246104
Diélectriques Solides et Fiabilité
B. Cailler
  • Fonction : Auteur
J. Lo
Department of pathology [HKU]
CV
L. Thérèse
  • Fonction : Auteur
D. Mihailova
  • Fonction : Auteur
Gerjan Hagelaar
Groupe de Recherche Energétique, Plasmas et Hors Equilibre
Philippe Belenguer
Groupe de Recherche Energétique, Plasmas et Hors Equilibre

Domaines

Electromagnétisme

Nathalie Pagès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03943161

Soumis le : mardi 17 janvier 2023-14:14:22

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-03:20:54

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03943161 , version 1 (17-01-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03943161 , version 1

Citer

Christian Laurent, B. Cailler, J. Lo, L. Thérèse, D. Mihailova, et al.. Experimental and numerical characterization of an argon RF inductively coupled plasma for surface treatment.. ICOPS : IEEE 40th International Conference on Plasma Sciences San Francisco, CA, USA, 2013, San Francisco, United States. ⟨hal-03943161⟩

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