NbN-on-Si superconducting nanowire single photon detectors: effect of a sputtered AlN buffer layer
Raouia Rhazi
(1)
,
Houssaine Machhadani
(2)
,
C. Bougerol
(3)
,
Stéphane Lequien
(4)
,
Guillaume Rodriguez
(1)
,
Richard Souil
(1)
,
Jean-Luc Thomassin
(5)
,
Nicolas Mollard
(4)
,
Eva Monroy
(2)
,
Ségolène Olivier
(1)
,
Jean-Michel Gerard
(2)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 NPSC - Nanophysique et Semiconducteurs
3 NEEL - NPSC - Nanophysique et Semiconducteurs
4 MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux
5 LaTEQS - Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
2 NPSC - Nanophysique et Semiconducteurs
3 NEEL - NPSC - Nanophysique et Semiconducteurs
4 MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux
5 LaTEQS - Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
C. Bougerol
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738448
- IdHAL : catherine-bougerol
- ORCID : 0000-0002-4823-0919
- IdRef : 030921163
Eva Monroy
- Fonction : Auteur
- PersonId : 743091
- IdHAL : eva-monroy
- ORCID : 0000-0001-5481-3267
- IdRef : 138495602