Poster De Conférence
Année : 2022
Julien Cardin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03860565
Soumis le : vendredi 18 novembre 2022-16:36:00
Dernière modification le : mercredi 24 avril 2024-13:36:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03860565 , version 1
Citer
Kou Ihara, Maxime Lemaneger, Julien Cardin, Christophe Labbé. Improvement of TiN thin film properties deposited by Atomic Layer Deposition. 8th edition of the RAFALD Workshop, Nov 2022, Caen, France. , 2022. ⟨hal-03860565⟩
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