GaN growth by MOVPE on patterned SOI substrates: from high-quality GaN platelets to micro LEDs
Kilian Baril
,
Pierre-Marie Coulon
(1)
,
Mrad Mrad
(2)
,
Ludovic Dupre
(3)
,
Guy Feuillet
(2)
,
Matthew Charles
(2)
,
Cecile Gourgon
(4)
,
Philippe Vennegues
(1)
,
Blandine Alloing
(1)
,
Jesus Zuniga Perez
(1)
1
CRHEA -
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
Kilian Baril
- Fonction : Auteur
Blandine Alloing
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1287032
- ORCID : 0009-0008-0923-3616
Jesus Zuniga Perez
Connectez-vous pour contacter l'auteur
- Fonction : Auteur correspondant
- PersonId : 180237
- IdHAL : jesus-zuniga-perez
- ORCID : 0000-0002-7154-641X
- IdRef : 164956239
Connectez-vous pour contacter l'auteur