Développement d'antennes MEMS souples et de grandes dimensions pour la mesure de fluctuations de pression pariétale
Résumé
Pour des applications à grand nombre de microphones affleurant, l'utilisation de microphones capacitifs 1/4" ou 1/8" du commerce conduit, d'une part, à une limitation du nombre de capteurs, pour des raisons de coût. D'autre part, leurs dimensions ne permettent ni de réaliser des mesures très rapprochées, de l'ordre du millimètre, ni d'instrumenter des surfaces déjà encombrées, comme un carter de turbomachine par exemple. Malgré des limitations héritées de la téléphonie mobile (dynamique 140 dB, bande passante 20 kHz), une alternative intéressante est l'utilisation de microphones MEMS, qui proposent des dimensions de l'ordre de quelques millimètres. Leur format de données numériques permet également de réduire les coûts, en raison de l'absence d'un système d'acquisition. Ce papier est consacrée au développement et à la validation d'une architecture d'antenne MEMS à 512 microphones utilisant le protocole TDM16. Un essai réalisé sous une couche limite turbulente montre que les données permettent l'extraction du spectre en fréquence - nombre d'onde des fluctuations de pression pariétale, ouvrant la voie à des applications vibro-acoustiques où la source d'excitation est caractérisée sans ambiguïté sur des surfaces de grandes dimensions comme les fuselages d'avion ou les vitrages automobiles.