High temperature stability embedded ReRAM for 2x nm node and beyond
G. Molas
(1)
,
G. Piccolboni
(1)
,
A. Bricalli
,
A. Verdy
(1)
,
I. Naot
,
Y. Cohen
(2)
,
A. Regev
,
I. Naveh
,
D. Deleruyelle
(3)
,
Q. Rafhay
,
N. Castellani
(1)
,
L. Reganaz
(1)
,
A. Persico
(1)
,
R. Segaud
,
J. Nodin
(1)
,
V. Meli
(1)
,
S. Martin
(4)
,
F. Andrieu
(5)
,
L. Grenouillet
(1)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IPGP - Institut de Physique du Globe de Paris
3 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
4 Universidad de Zaragoza = University of Zaragoza [Saragossa University] = Université de Saragosse
5 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 IPGP - Institut de Physique du Globe de Paris
3 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
4 Universidad de Zaragoza = University of Zaragoza [Saragossa University] = Université de Saragosse
5 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation