Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA

Clément Bessouet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1114564
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Charaf-Eddine Bejjit
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1180736
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Charlotte Kutyla
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1180737
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Sylvain Lemettre
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1114565
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Alain Bosseboeuf
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1057367
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Philippe Coste
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1180734
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Thierry Sauvage
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Olivier Wendling
  • Fonction : Auteur
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Aurelien Bellamy
  • Fonction : Auteur
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Pratik Jagtap
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Stephanie Escoubas
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Christophe Guichet
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Olivier Thomas
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 840736
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Johan Moulin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1083351
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]
Abstract NRA in situ IVC22_JMo.pdf (322.03 Ko) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Alain BOSSEBOEUF  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03836025

Soumis le : mardi 1 novembre 2022-17:18:33

Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03

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Dates et versions

hal-03836025 , version 1 (01-11-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03836025 , version 1

Citer

Clément Bessouet, Charaf-Eddine Bejjit, Charlotte Kutyla, Sylvain Lemettre, Alain Bosseboeuf, et al.. Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA. 22nd International Vacuum Congress, Sep 2022, Sapporo, Japan. ⟨hal-03836025⟩

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